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    作者:http://www.himeishi.com 发布时间:2021-07-23 14:12:36

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    直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。

    热场一般包括(仙人掌黄色视频软件材料)压环、保温盖、上中下保温罩、仙人掌黄色视频软件坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、仙人掌黄色视频软件螺栓,

    且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。

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